학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, 2009. 8., [ 1책(면수없음) ]
DRAM; capacitor; ALD; HfLaO; 디램; 축전기; 원자층증착법; 하프란타늄옥사이드; DRAM; capacitor; ALD; HfLaO; 디램; 축전기; 원자층증착법; 하프란타늄옥사이드
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