단일트랜지스터형 FeRAM을 위한 MFIS 구조의 제작 및 특성분석에 관한 연구A study on fabrication and characterization of MFIS structure for single transistor type FeRAM
- Advisors
- 이희철researcher; Lee, Hee-Chulresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 2002
- Identifier
- 177299/325007 / 000975192
- Language
- kor
- Description
학위논문(박사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, 2002.8, [ x, 115 p. ]
- Keywords
보존력; 알루미나; 스트론튬비스무스탄탈네이트; 강유전체 메모리; 후속열처리; post-annealing; retention; SBT; FeRAM
- Appears in Collection
- EE-Theses_Ph.D.(박사논문)
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