高解像度反射型トモグラフィ測定システムおよび方法

Abstract

【課題】本開示は、高解像度反射型トモグラフィ測定システムおよび方法を提供する。 【解決手段】本開示の高解像度反射型トモグラフィ測定システムは、対物レンズ、チューブレンズ、カメラ、時間的には干渉性で空間的には非干渉性の光を導き入れる照明要素、およびチューブレンズとカメラの間で光をサンプルおよび参照ビームに分割して、サンプルからのサンプルビームと参照ビームがトモグラフィ測定のための干渉を発生するようにする半-反射表面要素を含む。