Al,Ga) 와 N,N-dimethylethylenediamine 의 반응 및 단일 전구체 OMCVD 법에 의한 AlN 박막의 제조$MMe_3$ (M
- Advisors
- 박준택researcher; Park, Joon-Taikresearcher
- Description
- 한국과학기술원 : 화학과,
- Publisher
- 한국과학기술원
- Issue Date
- 1997
- Identifier
- 112778/325007 / 000953229
- Language
- kor
- Description
학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 화학과, 1997.2, [ vii, 62 p. ]
- Keywords
알루미늄 나이트라이드; 박막 제조법; OMCVD; AlN
- Appears in Collection
- CH-Theses_Master(석사논문)
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