마이크로 LED의 패터닝 방법 및 이를 이용한 마이크로 LED의 제조방법PATTERNING METHOD OF MICRO-LED AND MANUFACTURING METHOD OF MICRO-LED
본 발명은, 마이크로 LED의 패터닝 방법 및 이를 이용한 마이크로 LED의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, LED 반도체 기판을 준비하는 단계; 및 상기 LED 반도체 기판의 표면에 복수개의 픽셀 영역을 집속이온빔을 이용하여 패터닝하는 단계; 를 포함하고, 상기 패터닝하는 단계는, 상기 픽셀 영역을 제외한 상기 표면의 적어도 일부분에 집속이온빔으로 이온을 주입하여 결함을 갖는 이온주입 영역을 형성하는 것인, 마이크로 LED의 패터닝 방법 및 이를 이용한 마이크로 LED의 제조방법에 관한 것이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-12-13
- Application Number
- 10-2021-0177624
- Registration Date
- 2024-07-04
- Registration Number
- 10-2683047-0000
- Appears in Collection
- PH-Patent(특허)
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