레이저 빔 조사 장치 및 방법

Abstract

능동형 열화상(Active Thermography)을 위한 레이저 빔 조사 장치가 제공된다. 상기 레이저 빔 조사 장치는 복수의 레이저 빔들을 조사하는 광원부; 상기 복수의 레이저 빔들의 경로가 제2 빔 경로 조절부를 향하도록, 상기 광원부로부터 조사된 상기 복수의 레이저 빔들을 반사시키는 제1 빔 경로 조절부; 상기 복수의 레이저 빔들의 경로가 빔 방향 조절부를 향하도록, 상기 제1 빔 경로 조절부로부터 획득되는 상기 복수의 레이저 빔들을 반사시키는 제2 빔 경로 조절부; 상기 복수의 레이저 빔들이 물체로 조사될 방향을 조절하기 위하여, 상기 제2 빔 경로 조절부로부터 획득되는 상기 복수의 레이저 빔들을 반사시키는 빔 방향 조절부; 및 상기 복수의 레이저 빔들 각각의 이동 거리를 조절하기 위하여, 상기 제1 빔 경로 조절부와 상기 광원부 간의 제1 상대 이동 및 상기 제2 빔 경로 조절부와 상기 빔 방향 조절부 간의 제2 상대 이동을 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.