습도센서 모듈과 이를 구비하는 습도 측정장치 및 이를 이용하는 습도측정 방법

Abstract

습도센서 모듈, 이를 구비하는 습도 측정장치 및 이를 이용한 습도 측정방법을 개시한다. 습도센서 모듈은 기판 상에 배치되고 상면으로부터 함몰된 리세스를 구비하는 절연층, 리세스를 덮도록 절연층의 상부에 배치되어 리세스를 외부로부터 단절된 밀폐공간으로 제공하고 칼슘함유 박막층을 구비하여 대기의 수분을 흡수하며 흡수된 수분의 함량에 따라 서로 다른 공진 주파수로 진동하는 멤브레인, 및 절연층의 하부에 배치된 하부전극 및 멤브레인 상에 배치된 상부전극을 구비하여 하부전극 및 상부전극 사이에 위치하는 절연층을 커패시터로 제공하는 전극층을 포함한다. 습도 측정장치는 습도센서 모듈로부터 출력신호를 검출하고 출력신호의 공진 주파수에 대응하는 습도를 주파수-습도 기준에 의해 일의적으로 수득한다. 대기의 상대습도를 간편하고 정확하게 검출할 수 있다.