MEMS 광 스위치를 활용하는 광 위상 배열 칩 및 그 제조 방법OPTICAL PHASED ARRAY CHIP USING MEMS SWITCH AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
광 위상 배열 칩 및 그 제조 방법 개시된다. 일 실시예에 따르면, 광 위상 배열 칩은, 상기 광 위상 배열 칩은, 단일 집적 회로-상기 단일 집적 회로는, 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판의 상부에 형성되는 하부층; 상기 하부층의 상부에 형성되는 실리콘층; 상기 실리콘층의 상부에 순차적으로 배치되는 제1 상부층, 제2 상부층 및 제3 상부층; 상기 실리콘층에 접지된 채 상기 제1 상부층을 관통하며 상기 제1 상부층의 상부에 형성되는 전극을 포함함- 상에 구현되는 복수의 광 스위치들 및 복수의 광 위상 배열들을 포함하는 것을 특징으로 한다
- Assignee
- 한국과학기술원, 광주과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-01-19
- Application Number
- 10-2021-0007201
- Registration Date
- 2024-03-04
- Registration Number
- 10-2644811-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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