용액재료를 이용한 미세패턴 제조방법METHOD FOR MANUFACTURING A MICRO/NANO PATTERN USING SOLUTION MATERIALS
용액재료를 이용한 미세패턴 제조방법에서, 베이스 기판 상에 친수성막 및 소수성막을 포함하는 제1 층을 형성한다. 베이스 몰드 상에 제1 패턴을 형성하여 임프린팅 몰드를 제작한다. 상기 제1 패턴을 포함한 임프린팅 몰드로 상기 제1 층을 패터닝한다. 상기 패터닝으로 제2 패턴이 형성된 상기 기판 상에 용액을 도포한다. 상기 도포된 용액을 건조한다.
- Assignee
- 한국과학기술원,한국기계연구원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2015-11-20
- Application Number
- 10-2015-0163401
- Registration Date
- 2017-03-09
- Registration Number
- 10-1716851-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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