고속 동작이 가능한 공중부유 나노와이어 구조체SUSPENDED NANOWIRE STRUCTURE CAPABLE OF HIGH-SPEED OPERATION
본 발명은 공중부유 나노와이어 구조체에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 나노와이어의 온도 분포를 균일하게 하여 반응 속도를 향상시켜 고속 동작이 가능한 공중부유 나노와이어 구조체에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시 형태에 따른 공중부유 나노와이어 구조체는, 기판; 상기 기판 상에 공중 부유되고, 제1 방향을 따라 연장된 다수의 나노와이어; 상기 다수의 나노와이어의 양 단에 각각 연결된 전극; 및 상기 다수의 나노와이어의 양 단부 상에 각각 배치되고, 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 연장되고, 구동 시 상기 다수의 나노와이어의 양 단부로 열을 제공하는 발열 전극;을 포함한다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-10-05
- Application Number
- 10-2021-0131930
- Registration Date
- 2023-11-28
- Registration Number
- 10-2608526-0000
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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