근적외선 구동레이저의 파면 변조를 통한 자외선 조화파의 빔 패턴 제어
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 원승재 | ko |
| dc.contributor.author | 김태원 | ko |
| dc.contributor.author | 최승만 | ko |
| dc.contributor.author | 김병기 | ko |
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.contributor.author | 김영진 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-11-24T01:01:03Z | - |
| dc.date.available | 2023-11-24T01:01:03Z | - |
| dc.date.created | 2023-11-22 | - |
| dc.date.issued | 2023-08-21 | - |
| dc.identifier.citation | 2023 차세대 리소그래피 학술대회 (NGL 2023) | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/315127 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국광학회 | - |
| dc.title | 근적외선 구동레이저의 파면 변조를 통한 자외선 조화파의 빔 패턴 제어 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 2023 차세대 리소그래피 학술대회 (NGL 2023) | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 수원컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김영진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김태원 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최승만 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김병기 | - |
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