기상 증착 공정을 통한 모듈러스와 CTE가 그레이딩된 고내구성 다층 구조의 기판 플랫폼 및 그 설계 방법MECHANICALLY DURABLE MULTI-LAYER SUBSTRATE PLATFORM WITH MODULUS AND CTE GRADIENT THROUGH INITIATED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESS AND ITS DESIGN METHOD
기상 증착 공정을 통한 모듈러스와 CTE가 그레이딩된 고내구성 다층 구조의 기판 플랫폼 및 그 설계 방법이 제시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 다층 구조의 기판 플랫폼은, 신축성 기판; 및 상기 신축성 기판 상에 증착되며, 기상 증착 공정을 이용하여 구성되는 다층 구조의 고분자 필름을 포함하고, 상기 고분자 필름은 리지드 아일랜드(rigid island) 구조로 상기 신축성 기판에 구성될 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-12-29
- Application Number
- 10-2021-0190562
- Registration Date
- 2023-10-12
- Registration Number
- 10-2590518-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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