기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법 및 장치METHODAND APPARATUS FOR TRANSFERRING REGULARLY-ALIGNED MULTIDIMENSIONAL NANOSTRUCTURES BY NON-DESTRUCTIVE MODIFICATION OF GAS DIFFUSION LAYER SURFACE
기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법은, 기판 상에 나노구조체를 형성하는 단계; 상기 기판을 제거하는 단계; 가스확산층의 표면에 -OH 기를 형성하는 단계; 및 상기 -OH 기가 형성된 상기 가스확산층에 상기 나노구조체를 전사하는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.