기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법 및 장치METHODAND APPARATUS FOR TRANSFERRING REGULARLY-ALIGNED MULTIDIMENSIONAL NANOSTRUCTURES BY NON-DESTRUCTIVE MODIFICATION OF GAS DIFFUSION LAYER SURFACE
기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법 및 장치가 제시된다. 일 실시예에 따른 기체확산층의 비파괴적 표면 특성 개선을 활용한 정렬된 다차원 나노구조체 전사 방법은, 기판 상에 나노구조체를 형성하는 단계; 상기 기판을 제거하는 단계; 가스확산층의 표면에 -OH 기를 형성하는 단계; 및 상기 -OH 기가 형성된 상기 가스확산층에 상기 나노구조체를 전사하는 단계를 포함하여 이루어질 수 있다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2021-07-07
- Application Number
- 10-2021-0088972
- Registration Date
- 2023-08-03
- Registration Number
- 10-2564998-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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