유착된 나노입자의 3차원 구조 결정 장치 및 방법

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 유착된 나노입자의 3차원 구조 결정장치는, 나노입자에 대하여 복수의 전자 단층촬영 틸트 시리즈의 이미지를 획득하는 이미지 획득부; 상기 획득된 이미지에 기초하여 딥러닝 기반 신경망 기법을 사용하여 상기 나노입자에 대한 3차원 토모그램을 재구성하는 3차원 토모그램 재구성부; 상기 재구성된 3차원 토모그램에 기초하여 상기 나노입자의 원자 좌표를 결정하여 3차원 실원자모델(experimental atomic model)을 구축하고 상기 원자 좌표들의 신뢰성을 평가하는, 원자좌표 결정부; 상기 3차원 실원자모델에서 상기 나노입자의 원자 구조와 상기 나노입자에 대한 이상적인 3차원 원자모델의 원자 구조를 비교하여 상기 나노입자들의 부분적인 병합에 의한 구조 변형에 따른 무질서도를 평가하는 무질서도 평가부를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 개별 입자의 3차원 측정뿐 아니라 입자들 간에 상호작용으로 인한 유착 등의 발생에 의해 트위닝된 계면 구조 및 결과적인 물리적 특성들을 정확하게 분석하고 그에 따라 나노입자들의 특성을 제어하기 위해 전체 또는 부분적으로 병합된 나노결정들의 3차원 원자 구조를 정확하게 결정할 수 있다.