DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.advisor | 박효훈 | - |
dc.contributor.advisor | Park, Hyo-Hoon | - |
dc.contributor.advisor | 함자 쿠르트 | - |
dc.contributor.advisor | Kurt, Hamza | - |
dc.contributor.author | 김준형 | - |
dc.date.accessioned | 2023-06-26T19:34:08Z | - |
dc.date.available | 2023-06-26T19:34:08Z | - |
dc.date.issued | 2022 | - |
dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=997187&flag=dissertation | en_US |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/309923 | - |
dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학부, 2022.2,[v, 47 p. :] | - |
dc.description.abstract | 본 논문에서는 실리콘 광위상배열에서 발산기 어레이의 수직 방사 각도 열광학 제어를 효율적으로 하기 위한 구조를 제시한다. 제안된 구조를 만들기 위해, 딥 반응성 이온 에칭 공정을 통해 실리콘 웨이퍼 뒷면에 공기 도랑 구조를 형성한다. 공기의 낮은 열전도율은 열광학 제어 도중 발생하는 열을 국부적으로 원하는 부분에 집중시킬 수 있도록 한다. 64채널 광위상배열 칩을 프린트 배선판에 패키징하여 디지털/아날로그 변환을 통해 각 채널의 위상을 조절하여 빔을 형성함과 동시에, 발산기 어레이의 열광학 제어를 통한 수직 방사 각도를 함께 제시한다. 공기 도랑 구조를 적용한 광위상배열은 종래의 광위상배열에 비해 99 % 이상 수직 방향 빔 조향 효율이 증가한 것을 확인하였다. 본 논문에서 제안하는 공기 도랑 구조는 광위상배열에서 열광학 제어를 사용하는 여러 소자의 효율을 높일 수 있는 해결책으로 두루 활용될 수 있다. | - |
dc.language | kor | - |
dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
dc.title | 실리콘 기반 광위상배열에서 수직 방사 각도의 고효율 열광학 제어 | - |
dc.title.alternative | High efficiency thermo-optic control of the longitudinal radiation angle in silicon-based optical phased array | - |
dc.type | Thesis(Master) | - |
dc.identifier.CNRN | 325007 | - |
dc.description.department | 한국과학기술원 :전기및전자공학부, | - |
dc.contributor.alternativeauthor | Kim, Junhyeong | - |
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