장비 로그데이터를 이용한 플라즈마 화학 기상 증착 공정의 가상 계측에 관한 연구(A) study on virtual metrology of plasma enhanced chemical vapor deposition using equipment sensor log data
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 신하용 | - |
| dc.contributor.advisor | Shin, Hayong | - |
| dc.contributor.author | 박민제 | - |
| dc.date.accessioned | 2023-06-23T19:31:13Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-23T19:31:13Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.kaist.ac.kr/search/detail/view.do?bibCtrlNo=997787&flag=dissertation | en_US |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/308798 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 산업및시스템공학과, 2022.2,[iv, 29 p. :] | - |
| dc.description.abstract | 본 논문은 플라즈마 화학 기상 증착 공정의 막 두께에 대한 가상 계측 시스템을 구축하는 문제를 다룬다. 장비 내 센서를 통해 얻어지는 로그데이터와 공정 후 계측한 막 두께 데이터를 이용하여, 플라즈마 화학 기상 공정의 특성을 고려한 여러 신경망 기반 예측모델을 고안하고, 실제 데이터에 대해 학습한 예측모델을 통해 막 평균 두께 및 위치 별 막 두께에 대한 가상 계측 시스템을 구축한다. 학습된 예측 모델을 통해 공정 장비 내에서 일어나는 현상에 대한 시뮬레이터를 가상 계측 시스템으로서 간접적으로 구현하고, 실제 데이터에 적용해보며 이를 분석해본다. | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국과학기술원 | - |
| dc.title | 장비 로그데이터를 이용한 플라즈마 화학 기상 증착 공정의 가상 계측에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | (A) study on virtual metrology of plasma enhanced chemical vapor deposition using equipment sensor log data | - |
| dc.type | Thesis(Master) | - |
| dc.identifier.CNRN | 325007 | - |
| dc.description.department | 한국과학기술원 :산업및시스템공학과, | - |
| dc.contributor.alternativeauthor | Park, Minje | - |
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- IE-Theses_Master(석사논문)
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