탄소나노튜브들을 포함하는 복합 연마패드 및 이의 제조방법Composite polishing pad including carbon nanotubes and method for manufacturing the same

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dc.contributor.author김산하ko
dc.contributor.author정지훈ko
dc.contributor.author류현준ko
dc.contributor.author강석경ko
dc.contributor.author김성재ko
dc.contributor.author민병주ko
dc.contributor.author홍석지ko
dc.contributor.author김승근ko
dc.contributor.author최정희ko
dc.contributor.author강민우ko
dc.contributor.author오남규ko
dc.date.accessioned2023-06-02T07:01:39Z-
dc.date.available2023-06-02T07:01:39Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/307041-
dc.description.abstract본 발명은 상부면에 성형된 다수개의 돌기를 포함하는 폴리머 기재층; 및 상기 기재층 상부면에 함입되어 고정된 탄소나노튜브들을 포함하는 탄소나노튜브층;을 포함하는 CMP용 복합 연마패드 및 이의 제조방법을 제공한다.-
dc.title탄소나노튜브들을 포함하는 복합 연마패드 및 이의 제조방법-
dc.title.alternativeComposite polishing pad including carbon nanotubes and method for manufacturing the same-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor김산하-
dc.contributor.nonIdAuthor민병주-
dc.contributor.nonIdAuthor홍석지-
dc.contributor.nonIdAuthor김승근-
dc.contributor.nonIdAuthor최정희-
dc.contributor.nonIdAuthor강민우-
dc.contributor.nonIdAuthor오남규-
dc.contributor.assignee한국과학기술원, 케이피엑스케미칼 주식회사-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-2021-0155313-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-2531705-0000-
dc.date.application2021-11-12-
dc.date.registration2023-05-08-
dc.publisher.countryKO-
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