탄소나노튜브들을 포함하는 복합 연마패드 및 이의 제조방법Composite polishing pad including carbon nanotubes and method for manufacturing the same
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김산하 | ko |
| dc.contributor.author | 정지훈 | ko |
| dc.contributor.author | 류현준 | ko |
| dc.contributor.author | 강석경 | ko |
| dc.contributor.author | 김성재 | ko |
| dc.contributor.author | 민병주 | ko |
| dc.contributor.author | 홍석지 | ko |
| dc.contributor.author | 김승근 | ko |
| dc.contributor.author | 최정희 | ko |
| dc.contributor.author | 강민우 | ko |
| dc.contributor.author | 오남규 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-06-02T07:01:39Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-02T07:01:39Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/307041 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 상부면에 성형된 다수개의 돌기를 포함하는 폴리머 기재층; 및 상기 기재층 상부면에 함입되어 고정된 탄소나노튜브들을 포함하는 탄소나노튜브층;을 포함하는 CMP용 복합 연마패드 및 이의 제조방법을 제공한다. | - |
| dc.title | 탄소나노튜브들을 포함하는 복합 연마패드 및 이의 제조방법 | - |
| dc.title.alternative | Composite polishing pad including carbon nanotubes and method for manufacturing the same | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 김산하 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 민병주 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 홍석지 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김승근 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최정희 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 강민우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 오남규 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원, 케이피엑스케미칼 주식회사 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2021-0155313 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2531705-0000 | - |
| dc.date.application | 2021-11-12 | - |
| dc.date.registration | 2023-05-08 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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