불순물이 첨가된 금속배선의 비저항 계산 및 차세대 배선물질 탐색
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 하태곤 | ko |
| dc.contributor.author | 최정우 | ko |
| dc.contributor.author | 이혁모 | ko |
| dc.date.accessioned | 2023-06-02T01:02:00Z | - |
| dc.date.available | 2023-06-02T01:02:00Z | - |
| dc.date.created | 2023-05-23 | - |
| dc.date.issued | 2021-10-20 | - |
| dc.identifier.citation | 대한금속재료학회 추계 학술 대회 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/307010 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한금속재료학회 추계 학술 대회 | - |
| dc.title | 불순물이 첨가된 금속배선의 비저항 계산 및 차세대 배선물질 탐색 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 대한금속재료학회 추계 학술 대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | KO | - |
| dc.identifier.conferencelocation | 제주국제컨벤션센터 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이혁모 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 하태곤 | - |
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