3차원 나노구조 기반의 저온 구동 광활성 가스 센서 및 그 제조 방법Light-activated Gas Sensors based on 3D Nanostructures for the High-performance Operation at the Room Temperature
개시된 가스 센서는, 기판 위에 배치된 제1 전극, 상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극과 이격되는 제2 전극 및 감응 부재를 포함한다. 상기 감응 부재는 상기 기판 위에 배치되며 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극과 접촉하며 가스 감응 물질을 포함하는 쉘들의 3차원 배열에 의한 다공성 구조를 갖는다. 상기 감응 부재의 두께는 5 내지 10㎛이고, 상기 쉘의 두께는 10 내지 40nm이다.
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2020-08-18
- Application Number
- 10-2020-0103418
- Registration Date
- 2023-03-21
- Registration Number
- 10-2513938-0000
- Appears in Collection
- MS-Patent(특허)
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