대칭적 구조의 샌드위치형 압전 에너지 하베스팅 소자 및 그 제작방법

Abstract

실시예에 따른 하베스팅 소자는 제1 기판, 상기 제1 기판 상의 제1 전극층 및 상기 제1 전극층 상의 제1 압전층을 포함하는 제1 소자와, 제2 기판, 상기 제2 기판의 아래의 제2 전극층, 상기 제2 전극층 아래의 제2 압전층을 포함하는 제2 소자와, 상기 제1 소자 및 상기 제2 소자 사이에 배치된 접착층을 포함할 수 있다. 실시예는 본래의 단일 부품으로 만들어지던 에너지 하베스팅 소자를 똑같이 만들어 접착하는 방식으로, 소자는 두 개의 부품으로 늘지만 출력 성능은 수 배에서 최대 제곱 배까지의 출력을 얻을 수 있는 효과가 있다.