Item 10203/305249본 연구진이 보유한 핵심기술인 'scattering superlens'는 가시광선 대역을 포함한 전자기파 모든 대역의 파장을 가진 광원을 이용하여 근접장을 제어하는 기술이다. 이에 본 연구진은, 나노입자에 의한 근접장을 제어하는 새로운 물리적인 법칙을 사용하여 광리소그래피의 해상도를 획기적으로 높이는 제품을 개발할 계획이다. 이는 기존의 NSOM 시스템과는 달리 일반적인 광학현미경 형태의 장비 구성을 가지기 때문에, 기존 광식각 장비 등에 비해요구공간이 매우 작으며, 상대적으로 뛰어난 경제성을 가지고 있다. 또한 광고분자를 이용하여 복잡한 파면을 기록 및 재생한다면 현재 실험에 사용하고 있는 복잡한 NSOM 시스템을 대체할 수 있는 새로운 근접장 제어 시스템을 제작 할 수 있으며, 이를 광리소그래피에 적용할 계획이다.

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Park, Yong Keun
Description
한국과학기술원 : 물리학과
Publisher
초고해상도 광초점을 형성하는 산란 수퍼렌즈
Issue Date
2014
Description

kor

URI
http://hdl.handle.net/10203/305249
Appears in Collection
2013 KAIST 대표 연구성과 10선
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