赤外線ボロメーター적외선 볼로메타
【課題】 本発明の課題は、抵抗体から基板に信号を伝逹するときと抵抗体から残留熱を除去するときだけ抵抗体に接触する信号脚を提供して熱伝導率を低めることでボロメーターの性能を向上させることにある。
【解決手段】 本発明による赤外線ボロメーターは、保護層でコーティングされた集積回路を備えた下部基板と、赤外線を吸収する吸収層と、前記吸収層から吸収された赤外線の熱によって抵抗値が変化する抵抗体とを備え、前記下部基板と所定の空間を有して互いに離間している上部基板と、前記上部基板を機械的に支持し、上部基板と下部基板とを連結するポストと、前記下部基板と上部基板との間で前記抵抗体から下部基板に信号を伝逹する信号脚と、前記信号脚を前記上部基板と電気的にオン-オフされるように駆動するために下部基板の上面に形成された下部電極と、前記下部基板の上面に形成され赤外線の熱の吸収率を増加させるための反射層とからなる。
【選択図】 図2
- Assignee
- KAIST
- Country
- JA (Japan)
- Application Date
- 2004-12-03
- Application Number
- 2004350832
- Registration Date
- 2006-12-01
- Registration Number
- 3887391
- Appears in Collection
- EE-Patent(특허)
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