전기장 센서

Abstract

근접 전기장을 비교란적으로 측정할 수 있는 전기장 센서에 관해 개시하고 있다. 본 발명의 전기장 센서는, 진동하는 전기장에 의해 유발되는 역학적 진동을 생성하되, 상기 전기장을 교란하는 금속성분은 포함하지 않는 진동 생성수단과; 상기 전기장의 교란을 야기시키지 않을 정도의 장소에 이격되게 위치하며, 상기 역학적 진동을 전달받아 이에 비례하는 신호를 발생시키는 신호 발생수단과; 상기 진동 생성수단의 역학적 진동을 상기 신호 발생수단에 전달하는 전달수단을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 전기장 센서에 의하면, 전기장 센서에 의해 야기되는 측정 전기장의 교란을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 연속적인 rf 전기장의 크기와 방향을 모두 측정할 수 있다. 따라서, 플라즈마 내의 전기장 측정에 적합하다.