互い違いに配置されたカンチレバーを用いるマイクロミラーデバイス及びその応用素子

Abstract

【要約】 (修正有) 【課題】 互い違いに配置されたカンチレバーを用いて簡単な構造で安定した回転状態を有するマイクロミラーデバイス及びその応用素子を提供する。 【解決手段】 本発明によるマイクロミラーデバイスは、基板と21、基板21上に突出するように形成された複数個の突出支持台23、突出支持台23のそれぞれの上部に基板と平行に取り付けられて形成され、隣接するもの同士は並んで互い違いに配置された、弾性復元力を有する薄板からなるカンチレバー25と、カンチレバー25の他端の上部に形成されるミラー支持台24と、ミラー支持体24のすべての上部に取り付けられ、これらにより支持されるミラー20と、ミラー20に静電気力を与えるために、前記基板上に形成された左右の2つの電極22とからなる。