高感度変位測定装置

Abstract

【要約】 【課題】 本発明は変位を測定する変位測定装置において、マイクロメータ以下の位置分解能の超精密測定ができるように高い感度を有する超精密の高感度変位測定装置を提供する。 【解決手段】 本発明によると、マイクロメータ以下の精密測定が可能な変位測定装置において、磁性体17、19を用いて閉ループを形成し、前記磁性体17、19の閉ループ内に磁気場を形成する主コイル巻き11と2次コイル巻き13とを受け入れる電磁気システム10と、変位入力部21と2次コイルとが巻かれたコア14に固定された変位出力部24を備え、前記変位入力部21に入力された変位に対して前記変位出力部24が比例的に増幅された変位を出力するように案内する板スプリング20と、前記入力される変位が一軸方向にのみ入力されるように前記板スプリング20の変位入力部21を支持する支持手段30とを含む。