反射体を用いた微小6自由度運動の測定装置

Abstract

【要約】 【課題】 本発明は反射体を用いた微小6自由度運動の測定装置において、反射体を用いて測定対象物体の6自由度変位を易く、精密に測定することができ、高速運動する測定対象物体の変位を容易に測定することができ、精密度が優れている6自由度運動の測定装置を提供するようにすることを特徴とする反射体を用いた微小6自由度運動の測定装置に関する。 【解決手段】 本発明によると、レーザー光源から進行するレーザー光線を用いて測定対象物の6自由度運動を測定する装置において、前記測定対象物に固定され、前記レーザー光線を3方向へ反射させる三角錐形状の3面反射体と、前記3面反射体の運動に従い、その表面に結ぶレーザー光点の位置と強度とを測定して出力信号を提供する3個の位置検出器と、前記3個の位置検出器から出力されるレーザー光点の位置と強度とを用いて前記3面反射体の6自由度を分析する制御部とを含む6自由度運動の測定装置が提供される。