表面および結合性が向上された窒化アルミニウム薄膜の製造方法

Abstract

【要約】 【課題】 窒化アルミニウム薄膜を窒素プラズマ処理して、低い工程温度でも表面平坦度と薄膜内の化学的、電気的特性が大きく向上された窒化アルミニウム薄膜を製造する方法を提供する。 【解決手段】 表面及び結合特性の向上を目的とする窒化アルミニウム薄膜の処理方法において、窒化アルミニウム薄膜蒸着後に前記薄膜の後処理工程としてマイクロ波プラズマ処理をすることを特徴とする。