밀폐 용기내의 진공판별 시스템

Abstract

본 발명은 밀폐된 용기내의 진공(vacuum)상태를 판별할 수 있도록 하는 것으로, 고주파의 전기신호를 발생시켜 측정대상물인 밀폐용기(3)의 주변 대기중으로 발산시키는 고주파 발생수단(1,2)과, 고주파 발생수단(1,2)으로부터 발생되어 대기중으로 발산된 고주파 신호에 의해 밀폐 용기(3)내에서 발생되는 방전 플라즈마의 강도를 검출하기 위한 플라즈마광 검출수단(4)과, 플라즈마광 검출수단(4)으로부터 검출되는 플라즈마광의 강도에 비례하는 전압 신호를 출력하는 전압 출력수단(7)과, 전압 출력수단(7)으로 부터 출력되는 전압 신호를 분석하여 밀폐용기(3)내의 진공상태를 판별하도록 하는 진공 판별수단(9)을 포함하는 구성을 특징으로 하여 진공상태의 판별이 실시간으로 가능하고, 구성장치가 간단한 진공판별 시스템을 제공하고자 하는 것이다.