마이크로파를이용한다결정박막의제조방법METHOD FOR MANUFACTURING POLYCRYSTALLINE THIN FILM USING MICROWAVE
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 안병태 | ko |
| dc.contributor.author | 김도경 | ko |
| dc.contributor.author | 김종희 | ko |
| dc.contributor.author | 이정노 | ko |
| dc.contributor.author | 김윤창 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-12-10T05:03:39Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-10T05:03:39Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/302563 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 규소(Si) 반도체, 불순물이 첨가된 규소 반도체, Si1-XGeX 등의 Si 합금을 포함한 IV족 반도체, 또는 Ⅲ-Ⅴ족·Ⅱ-Ⅵ족 반도체 등의 비정질 박막을, 마이크로파에 의한 열처리로써 결정화하여 다결정 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 기판을 세척하고 증착 장비에 장입하여 증착에 필요한 온도까지 기판을 예열하는 공정; 상기 기판에 비정질 또는 미세결정질 박막을 증착하는 공정; 및 증착된 박막을 마이크로파로 열처리하여 결정화함으로써 다결정 박막을 형성하는 공정으로 구성된다. 본 발명의 제조방법에 따르면, 비정질 박막을 고상결정화 함에 있어서 마이크로파를 이용함으로써 결정화 온도를 유리의 이용이 가능한 500℃까지 낮추고 결정화 시간도 기존의 수십 시간에서 수 시간으로 단축할 수 있다. | - |
| dc.title | 마이크로파를이용한다결정박막의제조방법 | - |
| dc.title.alternative | METHOD FOR MANUFACTURING POLYCRYSTALLINE THIN FILM USING MICROWAVE | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.localauthor | 안병태 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김도경 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김종희 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이정노 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김윤창 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1996-0055647 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0297498-0000 | - |
| dc.date.application | 1996-11-20 | - |
| dc.date.registration | 2001-05-22 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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