진동구조물의고유진동수조정방법METHOD FOR CONTROLLING NATURAL FREQUENCY OF STRUCTURE

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본 발명은 진동 구조물의 고유 진동수 조정 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 정전력이 가해지는 제 1 축 방향에 길이 방향이 일치하는 스프링 부재(3), 상기 제 1 축 방향에 평면상 직교하는 제 2 축 방향에 길이 방향이 일치하며 상기 스프링 부재(3)의 폭보다 좁은 폭을 지니는 제 2 축 방향의 스프링 부재(2, 4) 및, 질량체(5)를 구비하는 진동구조물(24)의 고유 진동수 조정 방법에 있어서, 상기 진동 구조물(24)의 제 1 축 및 이에 수직으로 직교하는 제 3 축 방향에 대한 고유 진동수를 측정하는 측정 단계, 상기 제 1 축 방향의 고유 진동수를 고정시킨 상태에서 상기 제 3 축 방향의 고유 진동수를 조정할 수 있도록, 상기 제 1 축 방향의 스프링 부재(3)의 두께를 변화시키는 두께 증감 단계 및, 상기 측정 단계에서 측정된 제 1 축 및 제 3 축 방향의 고유 진동수가 허용 오차 범위내에 들어올때까지 상기의 측정 단계 및 두께 증감 단계를 반복하는 반복 단계를 포함하는 진동 구조물 (24)의 고유 진동수 조정방법이 제공된다. 본 발명에 따른 2 축 진동 구조물의 고유 진동수 조정방법은 진동 구조물의 고유 진동수를 설계치에 일치되게 조정할 수 있도록 함으로써 센서의 감도 향상, 직선성 향상, 작동 대역 폭의 증가를 가져오는 효과가 있다.
Assignee
삼성전자주식회사,한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
1995-05-25
Application Number
10-1995-0013256
Registration Date
2002-10-28
Registration Number
10-0360479-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/302539
Appears in Collection
BiS-Patent(특허)
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