후막형반도체식산소센서THICK FILM TYPE SEMICONDUCTOR OXYGEN SENSOR

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본 발명은 대표적인 산화물 반도체중의 하나인 SrTiO3를 이용하여 자동차 공연비 제어 등에 응용이 가능한 후막형 반도체식 산소센서에 관한 것이다.본발명의 목적은 산소농도(또는 분압)에 따라 전기전도 기구가 변화하여 산소센서용으로의 활용에 제한을 받는 순수한 SrTiO3에 La2O3를 첨가하여 전기적 특성을 제어할수 있는 산화물 조성물을 제공하는데 있다.본발명의 또다른 목적은 산소센서의 주된 용도인 자동차 공연비 제어용으로 활용할 수 있는 후막형 반도체식 산소센서를 제공함에 있다.따라서, 본발명은 일반식이 Sr1-yLayTiO3으로 표시되며, y가 0.01∼0.1인 산화물 조성물이 인쇄된 시간에 따른 출력전압 특성이 계단형으로 변화하는 후막형 반도체식 산소센서임을 특징으로 한다.본발명에 의한 후막형 반도체식 산소센서는 기준전극이 필요없는 간단한 구조를 이룰 수 있기 때문에 센서에 부가되는 전압, 부하저항에 따라 출력전압을 쉽게 제어할 수 있다.
Assignee
한국과학기술원
Country
KO (South Korea)
Application Date
1997-01-15
Application Number
10-1997-0001054
Registration Date
2000-01-21
Registration Number
10-0253114-0000
URI
http://hdl.handle.net/10203/302531
Appears in Collection
MS-Patent(특허)
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