고집적 미소커넥터 및 그 제조방법

Abstract

고집적 미소커넥터는 고집적 다수전극을 일대일로 동시ㆍ개별 접속하기 위한 것으로, 실리콘 기판을 미세가공하여 접속하고자 하는 고집적 다수전극과 동일간격, 동일개수의 미소보 및 이들의 지지대 그리고 전극과 미소보와의 일대일 정렬을 위한 정렬기준구조물 등을 모두 일체형으로 제작한 실리콘 본체, 미소보의 보호 및 정렬을 용이하게 하기위한 투명덮개를 각각 작성한 후 이들 실리콘 본체와 투명덮개 사이에 실리콘 이격판을 넣어 서로 접합ㆍ연결시킨 것이다. 또한 투명덮개에는 미소보의 과다변형으로 인한 파손을 방지하기 위한 파손방지대가 설치되어 있고, 각 미소보 아래면에는 고집적 다수전극과의 일대일 접속을 위한 금속접점과 미소보 파손여부를 진단할 수 있는 자체진단체가 설치되어 있으며, 이들 접점과 자체진단체는 일체형 실리콘 본체 아래면의 전극에 각각 연결되어 있어 실리콘 본체의 전극과 TAB으로 접속된 유연전선을 통하여 외부와 연결된다. 고집적 미소커넥터를 접속하고자 하는 고집적 다수전극과 평행하게 정렬하여 접근시키면 각 전극과 미소보 끝의 금속접점이 서로 접촉하게 되고, 파손방지대에 의해 더이상 접근할 수 없을 때까지 고집적 미소커넥터를 다수전극에 밀착시키면 미소보의 탄성에 의해 전극과 미소보 끝의 금속접점간의 접촉력이 증가하게 되어 각 전극마다 균일하고 안정된 전기적 접속을 이루게 된다. 한편 접속시 미소보의 파손여부는 자체진단체에 의해 항시 감시할 수 있게 하였다.