임계미소스위치및그제조방법

Abstract

마이크로 머신 제작시 여러 가지 문제점을 유발케 하는 잔류 응력을 유리한 측면으로 역이용하여 잔류 응력에 의한 구조물의 좌굴을 이용하는 미소 스위치를 제공할 목적으로; 실리콘 기판으로 이루어지며, 그 길이 방향 중앙부의 상측부분이 하측으로 요입되어 그 중앙부에 소정 크기의 공간부가 형성되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 공간부 하측을 제외한 부분에 2중으로 도포되며, 상기 공간부의 상측부에는 길이 방향 양측이 절취되어 양단 고정보가 되도록 형성되는 내,외측 박막층과; 상기 양단 고정보의 상측으로 형성되는 하부 전극과; 상기 베이스 플레이트의 양측에 상기 양단 고정보와 동일 방향으로 형성되는 접착부 전극과; 하면으로 전극이 형성되어 베이스 플레이트의 상면에 부착되는 유리판을 포함하여 이루어지는 임계 미소 스위치 및 이의 제조방법을 제공한다.