탄소나노튜브 제조 방법 및 장치

Abstract

본 발명은 탄소나노튜브의 제조 방법 및 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 밀폐된 반응공간에 수용된 기체상태의 탄소화합물과 기체상태의 전이금속 촉매전구체화합물을 포함하는 반응가스의 온도를 바우다드 반응 온도까지 균일하게 높여서 순도가 높고 균일한 탄소나노튜브를 제조할 있는 방법 및 장치에 관한 것이다.본 발명에 의한 탄소나노튜브를 제조하는 방법은 실질적으로 밀폐된 압축이 가능한 반응공간을 구비한 반응용기를 마련하는 단계와, 상기 반응공간에 기체상태의 탄소화합물과 기체상태의 전이금속 촉매전구체화합물을 포함하는 탄소나노튜브 반응가스를 공급하는 단계와, 상기 반응공간에 공급된 탄소나노튜브 반응가스의 온도가 전이금속 촉매전구체 화합물이 열분해되는 온도 이상의 온도 및 바우다드 반응의 최소 개시 온도 이상의 온도가 될 때까지 반응공간을 압축하여 탄소나노튜브 생성물 현탁 가스를 생성시키는 단계를 포함한다.탄소나노튜브, 촉매금속, 클러스터, 반응가스, 압축, 가열