정전용량형 압력센서의 제조방법 및 이에 의해 제조된정전용량형 압력센서

Abstract

본 발명의 정전용량형 압력센서의 제조방법은 실리콘기판(20)의 앞면을 임의의 깊이만큼 식각하는 제1단계와; 상기 실리콘기판의 표면에 하기할 제8단계에서 식각시 사용되는 식각 스토퍼(21)를 증착하는 제2단계와; 상기 식각 스토퍼의 표면에 커패시터의 상부전극(22)을 증착하는 제3단계와; 상기 상부전극의 표면에 커패시터의 절연층(23)을 증착하는 제4단계와; 상기 절연층의 표면에 커패시터의 하부전극(24)을 증착하여 커패시터(29)를 형성하는 제5단계와; 유리기판(25)의 앞면 위에 금속 패드 전극(26)을 형성하는 제6단계와; 상기 실리콘기판(20)의 커패시터(29)의 하부전극(24)과 유리기판(25)의 금속 패드 전극(26)을 형상결합시켜 전기(양극)접합법(anodic bonding)으로 이종접합시키는 제7단계와; 상기 유리기판(25)에 접합된 실리콘기판(20)의 뒷면을 식각하여 상기 식각 스토퍼(21)를 노출시켜 멤브레인을 형성하는 제8단계; 및 상기 노출된 식각 스토퍼(21)를 습식 식각으로 제거하는 제9단계를 포함한다. 이러한 구성에 의해 외부압력에 의해 압력센서의 면적이 변함에 따라 입력에 따른 출력이 선형적으로 변하게 되고, 절연물질로 절연상수가 높은 하프늄 산화물(hafnium oxide)을 사용하기 때문에 정전용량이 커져 감도가 향상된다. 정전용량, 커패시터, 압력센서, 절연층, 하프늄 산화물, 선형적, 면적