미소 구동기 제조방법

Abstract

본 발명에 따른 빗 형상의 미소 구동기 제조방법에 있어서, 기판을 마련하는 단계와; 상기 기판 상에 복수 개의 핑거를 갖는 상기 제 1전극을 형성하는 단계와; 상기 식각으로 노출된 상기 제 1전극의 측면에 측면 산화막을 형성하는 단계와; 상기 제 1산화막이 노출된 영역 상에 상기 제 1전극의 핑거들 각각과 서로 대응하는 상기 제 2전극의 핑거들 각각이 맞물리는 형상으로 패턴을 형성하고, 상기 제 2전극의 패턴에 따라 상기 제 4산화막 및 상기 제 2실리콘막을 식각하여 상기 제 1산화막이 노출되도록 상기 제 2전극을 형성하는 단계와; 상기 제 1산화막, 상기 제 2산화막, 상기 측면 산화막, 상기 제 4산화막 및 상기 질화막을 제거하여 미소 구동기를 완성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 산화막 및 질화막을 증착하여 화학적 또는 기계적 식각만으로 빗 형상의 전극들이 미세 간격 갖게 되어 더욱 큰 정전기력을 발생함으로써, 낮은 동작 전압으로도 구동 가능한 효과가 있다.미소기전집접시스템, 빗 형상, 미소 구동기, 핑거, 정전기력, 열산화