전자기력으로 구동되는 미소거울 구동기 및 그 제조방법

Abstract

두축 자유도를 가지며 전자기력에 의하여 구동되는 미소거울 구동기 및 그 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명의 장치는, 기판과, 기판과 연결되도록 형성된 기판 내측에 형성된 프레임과, 프레임과 연결되도록 프레임 내측에 형성된 미소거울과, 기판과 프레임을 연결하는 제1 및 제2 토션바와, 프레임과 미소거울을 연결하는 제3 및 제4 토션바와, 기판에 연결되도록 형성된 네 개의 외팔보들과, 외팔보들과 프레임을 연결하는 네 개의 연결바들과, 외팔보들 및 미소거울 상면에 형성되는 도선들과, 기판 외측에 설치되는 제1 및 제2 자석을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 외부에서 인가한 전자기장을 이용해서 발생시킨 전자기력에 의하여 두 축을 중심으로 구동이 가능하므로 큰 힘과 큰 회전각도를 얻을 수 있고 신뢰성 있는 동작이 가능하며, 외부의 충격에도 강한 기계적으로 강한 구조를 가지고, 5V 이하의 낮은 전압에서도 동작할 수 있으며, SOI 기판의 상부 실리콘층을 거울면으로 사용하기 때문에 평평한 거울면을 얻을 수 있게 된다.미소거울, 전자기력, 프레임, 토션바, 도선, 자석