탄소나노튜브 어레이의 제작방법Method for Fabricating a Carbon Nanotube Array
본 발명은 유기초분자의 자기조립(self-assembly)과 금속의 선택적 화학결합(stanning)을 이용하여 수 나노미터 이하의 사이즈를 가지는 요홈모양이나 기둥모양의 패턴을 형성한 다음, 상기 나노패턴에 금속을 증착하고, 상기 증착된 금속 위에 탄소 나노튜브(CNT)를 배열하는 것을 특징으로 하는 CNT 어레이를 제작하는 방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 CNT 어레이에 바이오물질 또는 바이오물질과 결합하는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 바이오 나노어레이의 제조방법에 관한 것이다. 나노패턴, 유기초분자, 자기조립, 스테이닝, 탄소나노튜브, 어레이
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2003-06-05
- Application Number
- 10-2003-0036530
- Registration Date
- 2006-01-26
- Registration Number
- 10-0549103-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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