유기초분자의 나노패턴을 이용한 탄소나노튜브 어레이의제작방법Method for fabricating a carbon nanotube array usingthe nanopattern of supramolecules
본 발명은 기판(substrate) 상에 유기 초분자 박막을 형성시킨 다음, 열처리에 의해 유기분자들의 자기조립(self-assembly)을 유도하고, 이에 따라 형성된 일정한 유기 초분자 구조에 UV를 조사하여 구멍모양의 나노패턴을 형성한 다음, 상기 나노패턴에 탄소나노브(CNT)를 배열하는 것을 특징으로 하는 CNT 어레이를 제작하는 방법에 관한 것이다. 또한 본 발명은 상기 CNT 어레이에 바이오물질 또는 바이오물질과 결합하는 바이오 리셉터를 부착시키는 것을 특징으로 하는 CNT-바이오 나노어레이의 제조방법에 관한 것이다. 패턴, 유기초분자, 자기조립, UV, 에칭, 탄소나노튜브, 나노어레이
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2003-06-12
- Application Number
- 10-2003-0037753
- Registration Date
- 2005-10-18
- Registration Number
- 10-0523765-0000
- Appears in Collection
- CBE-Patent(특허)
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