연속 전기습윤에 의해 유도된 운동하는 액체 방울에 의해구동되는 마이크로펌프

Abstract

본 발명은 연속 전기습윤(Continuous Electrowetting)에 의해 유도된 운동하는 액체 방울에 의해 구동되는 마이크로 펌프(Micropump)에 관한 것이다. 연속 전기습윤이란 전기적으로 액체 방울의 표면장력을 연속적으로 변화시킴으로서 액체 방울이 운동하는 현상을 말한다. 전해질과 액체 금속 방울이 삽입되어 있는 관에 금속 전극을 통하여 주기적으로 극성이 바뀌는 전압을 인가해 주면, 액체 금속의 표면 장력에 변화가 생기게 되어 액체 금속 방울이 관 내부에서 왕복 운동하게 되는데, 이때 발생되는 압력 및 힘을 마이크로 펌프의 구동력으로 이용한다. 이러한 마이크로 펌프는 저전압에서 동작이 가능하며 낮은 소비전력을 가지게 된다.마이크로 펌프, 연속 전기습윤, 표면장력, 마이크로머시닝, 저전력, 저전압