질량 센서 및 그 제조 방법

Abstract

본 발명은 압전 박막의 탄성파체적파 공진기를 이용한 질량 센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 질량 센서 및 그 제조 방법시스템은, 기판 상에 임피던스 차이가 큰 물질을 교대로 증착하여 브래그 반사층을 형성한 후에 여러 형태로 제조 가능한 하부 전극과 상부 전극을 금속 박막을 이용해 형성하고, 상부 전극과 하부 전극 사이에 압전물질을 증착하여 형성한 압전층을 형성한 탄성체적파 공진기를 이용하여 상부전극의 신호선과 접지선의 전위차로 인한 전기장, 또 상부 전극의 신호선과 하부전극간의 전위차로 인해 발생되는 전기장이 공진을 유발시켜 센서로서 동작하게 된다. 이와 같이 하면, 반도체 기술을 센서의 제조시 적용하여 소형이면서 우수한 고감도 특성을 갖는 센서를 제조할 수 있고, 제작의 재현성 및 신뢰성을 높일 수 있으며, 제조 단가를 낮출 수 있다. 질량 센서, 브래그 반사층, 하부전극, 압전층, 상부전극