루비듐 타이타닐 아세네이트(RBTIOASO₄) 용융액 혼합장치와 이를 이용한 RTA 단결정 제조방법

Abstract

단결정 제조장치에서 고품질·대구경의 루비듐 타이타닐 아세네이트(RbTiOAsO4;이하 RTA라 함) 단결정을 성장시킬 수 있는 RTA 용융액 혼합장치 및 이를 이용한 RTA 단결정 제조방법에 대해 개시하고 있다. 본 발명의 RTA 용융액 혼합장치로는 백금판을 이용하고 있으며, 이 백금판으로 초기 용융액을 균일하게 혼합한다. 또한, RTA 단결정 제조방법에서는, RTA 종자결정을 도가니의 회전중심에서 용융액의 표면과 접촉시킨 다음, 도가니와 종자결정이 서로 동일 방향과 반대 방향으로 회전하게 하고, 세 부분의 히터의 온도를 달리하여 온도구배를 줌으로써 RTA 종자결정의 성장시킨다. 따라서, 본 발명에 의하면 고품질·대구경인 RTA 단결정을 성장시킬 수 있다.