발열장치 제조방법 및 열분사방식 잉크젯 프린트헤드제조방법

Abstract

선택적 다공질화 반응을 이용하여 형성한 단결정 실리콘 섬(island)을 그 발열저항으로 사용하는 발열장치 제조방법 및 열분사방식 잉크젯 프린트헤드 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명에 따른 발열장치 제조방법은, 불순물이 도핑된 단결정 실리콘 기판의 앞면에 상기 기판보다 더 높은 불순물 도핑농도를 가지는 불순물 영역을 이온주입법으로 형성하는 단계; 상기 불순물 영역 상에 상기 불순물 영역보다 더 낮은 불순물 도핑농도를 가지는 단결정 실리콘막 패턴을 형성하는 단계; 상기 불순물 영역만을 선택적으로 다공질화하여 다공질 실리콘 영역을 형성하는 단계; 상기 다공질화 영역을 둘러싸는 열산화막을 형성하는 단계; 및 상기 단결정 실리콘막 패턴과 전기적으로 연결되는 발열 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 산화속도가 빠른 다공질 실리콘 영역을 산화시켜 발열저항과 기판을 단열시키기 때문에 그 제조속도가 빠르다. 특히, 불순물 농도의 정확한 조절이 가능한 이온주입법 및 에피텍셜 성장법을 이용함으로써 다공질화 반응의 선택성을 높이기 때문에, 균일한 저항값을 가지는 발열저항을 제조할 수 있다. 프린트헤드, 잉크젯, 단결정 실리콘, 이온주입, 다공질화