탄소나노튜브 카트리지 제조장치

Abstract

본 발명은 탄소나노튜브 카트리지 제조장치에 있어서, 특히 탄소나노튜브 현탁액과 나이프 에지를 전기적 접촉을 가하여 탄소나노튜브를 탐침의 끝단에 부착하는 탄소나노튜브 팁의 제작에 유용한 탄소나노튜브 카트리지 제조장치에 관한 것으로, 중앙에 일정깊이로 사각형태의 홈을 형성한 Si 기판과; 상기 Si 기판의 상부 및 홈을 따라 일정두께의 절연재료로 도포되는 절연층과; 상기 절연층 상부에 일정두께로 증착되어 유(U)자 형태의 마이크로 채널을 형성하는 도전성 금속전극층과; 상기 도전성 금속 전극층의 상부에 형성되는 마이크로 채널에 채워지며, 내부에 다수개의 탄소나노튜브들이 섞인 탄소나노튜브 현탁액과; 상기 탄소나노튜브 현탁액과 접촉되어 탄소나노튜브를 끝단에 부착하는 나이프와; 상기 도전성 금속 전극층과 나이프를 전기적으로 접속하여 나이프에 탄소나노튜브가 부착되도록 하는 전원공급장치를 포함하는 것이 특징이다. 탄소나노튜브, 카트리지, 금속전극층, 마이크로 채널, 나이프 에지