솔레노이드와 영구자석을 갖는 선형구동기를 이용한 3축스테이지 구동장치3-axis stage driving device used linear actuator withsolenoid and permanent magnet
본 발명은 영구자석이 만드는 자속 흐름 내부에 대칭적으로 코일을 배치시키고, 이들 코일에 변화된 전류를 공급하여 자속의 밀도 차에 의해 선형 구동을 시키는 선형 구동기를 스테이지 고정판에 원주상으로 일정 간격 하에 3개가 배치되어 z-Rx-Ry의 3축을 제어하여 3축 운동구동판의 위치를 동작시키는 것으로, 별도의 증폭기가 필요 없어지며 간단하게 제작할 수 있다. 그리고, 3축 스테이지가 대칭적으로 이루어지며, 간단하게 구성이 되는 장점이 있다. 3축, 스테이지, 자속, 영구자석, 코일, 솔레노이드
- Assignee
- 한국과학기술원
- Country
- KO (South Korea)
- Application Date
- 2001-11-12
- Application Number
- 10-2001-0070125
- Registration Date
- 2005-04-08
- Registration Number
- 10-0483954-0000
- Appears in Collection
- ME-Patent(특허)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.