베타-케토에스테르또는아미드리간드를이용한강유전체BST박막제조용선구물질PRECURSORS FOR PRODUCING MONOMER STRUCTURED BETA-DIKETONATED BST(BAXSR1-XTIO3) THIN LAYER USING BETA-KETO ESTER OR AMIDE LIGAND

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dc.contributor.author박준택ko
dc.date.accessioned2022-11-22T09:03:40Z-
dc.date.available2022-11-22T09:03:40Z-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10203/300552-
dc.description.abstract본 발명은 고유전율 특성을 이용한 기가급 DRAM (Dynamic Random Access Memory) 의 커패시터의 제조에 사용되는 강유전체인 BaxSr1-xTiO3 (BST) 박막 제조용 선구물질에 관한 것이다. 선구물질로서 새로운 형태의 디케토 에스테르(diketo ester) 및 아미드(amide) 리간드를 이용하여 BST 박막 제조용 물질을 합성하였다. 특히 Ba 과 Sr 화합물의 경우 다양한 N, 0 - 전자 주개 리간드를 같이 이용하여 휘발성이 좋은 단량체 구조의 화합물을 합성하였다.-
dc.title베타-케토에스테르또는아미드리간드를이용한강유전체BST박막제조용선구물질-
dc.title.alternativePRECURSORS FOR PRODUCING MONOMER STRUCTURED BETA-DIKETONATED BST(BAXSR1-XTIO3) THIN LAYER USING BETA-KETO ESTER OR AMIDE LIGAND-
dc.typePatent-
dc.type.rimsPAT-
dc.contributor.localauthor박준택-
dc.contributor.assignee한국과학기술원-
dc.identifier.iprsType특허-
dc.identifier.patentApplicationNumber10-1998-0008164-
dc.identifier.patentRegistrationNumber10-0308916-0000-
dc.date.application1998-03-12-
dc.date.registration2001-09-03-
dc.publisher.countryKO-
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CH-Patent(특허)
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