실시간 3차원 초음파 이미징을 위한 이중 에뉼러 형태의 정전용량형 미세가공 초음파 트 랜스듀서 배열 제작

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Publisher
마이크로나노시스템학회
Issue Date
2022-04-08
Language
Korean
Citation

한국 MEMS 학술대회

URI
http://hdl.handle.net/10203/300383
Appears in Collection
EE-Conference Papers(학술회의논문)
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