다공질 실리콘 지지체를 적용한 마이크로 촉매 연소기 및그 제조 방법

Abstract

본원 발명은 마이크로 반응기나 마이크로 개질기 등의 작동을 위한 열원으로 작용하는 마이크로 촉매 연소기로서, 실리콘 지지체를 적용함으로써 초미세 형태로 형성이 가능하고, 지지체와 동종의 실리콘 다공질 구조를 채택함으로써 강도가 우수하며 공정이 간단한 다공질 실리콘 지지체를 적용한 마이크로 촉매 연소기를 제공하고자 하는 것이다.상기 목적을 달성하기 위하여 본원 발명은 연료전지를 위한 열원으로 작용하는 마이크로 촉매 연소기에 있어서, 예혼합 가스가 주입되는 입구와; 반응물이 배출되는 출구와; 상기 입구 및 출구 사이에 형성되고, 촉매를 담지하는 내부 벽면은 다공질의 실리콘 층으로 형성되는 연소실;을 포함하는 마이크로 촉매 연소기를 제공한다.또한, 상기 촉매 연소기의 제조 방법으로써 지지체로서의 평판 형상의 실리콘 기판을 준비하는 단계; 상기 실리콘 기판의 상면에 식각에 의해 트랜치 형상의 연소실을 형성하는 단계; 상기 실리콘 기판의 하면에 전극을 마련하는 단계; 상기 실리콘 기판의 상기 전극을 양극으로 하여 전기화학적 식각법에 의해 연소실에 다공질의 실리콘층을 형성하는 단계; 다공질 실리콘층에 백금을 담지하는 단계; 평판 형상의 커버체를 마련하는 단계; 커버체의 일면에 지지체의 연소실에 대응되도록 복수의 온도 센서를 형성하는 단계; 커버체가 지지체의 연소실을 덮도록 견고하게 접합하는 단계;를 포함하는 마이크로 촉매 연소기의 제조 방법을 제공한다.다공질(porous), 실리콘, 백금, 마이크로, 촉매, 연소기, 수소, 온도 센서