불순물의실리콘으로의고속열확산방법및그고속열확산장치METHOD AND APPARATUS OF HIGH SPEED THERMAL DIFFUSION
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김충기 | ko |
| dc.contributor.author | 김경태 | ko |
| dc.contributor.author | 김정규 | ko |
| dc.date.accessioned | 2022-11-18T05:04:39Z | - |
| dc.date.available | 2022-11-18T05:04:39Z | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/300012 | - |
| dc.description.abstract | 가열용 실리콘 웨이퍼(21), 확산소오스(20), 석영스페이서(19) 및 불순물이 도핑될 웨이퍼(18)를 석영핀(15)의 개재하에 석영 트레이(14)에 샌드위치 구조로 재치시킨 후 분위기 가스 존재하에서 텅스텐-할로겐 램프(13)의 빛으로 가열시켜, 상기 확산소오스(20)로부터 상기 웨이퍼(18)의 표면으로 그래스를 천이시킴과 동시에 그 천이된 그래스로부터 상기 웨이퍼(18)의 내부로 불순물을 확산시킴을 특징으로 하는 불순물의 실리콘으로의 고속 열확산방법. | - |
| dc.title | 불순물의실리콘으로의고속열확산방법및그고속열확산장치 | - |
| dc.title.alternative | METHOD AND APPARATUS OF HIGH SPEED THERMAL DIFFUSION | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김경태 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김정규 | - |
| dc.contributor.assignee | 한국과학기술연구원 | - |
| dc.identifier.iprsType | 특허 | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-1989-0008147 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-0063943-0000 | - |
| dc.date.application | 1989-06-13 | - |
| dc.date.registration | 1993-07-28 | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
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- RIMS Patents
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